��ϸ����������ϸ�ּ����ķ�չ��ʹ�����ǽ������﹤ҵ�ķ�չ���ܲ��ɷֵģ������ǽ��������ҹ��ǽ������﹤ҵ�ķ�չʹ�ó�ϸ���鼰(ju)��ϸ�ּ�����Ҳ�õ��˽�һ�����ߡ����ˣ������Էǽ������﹤ҵ�ķ�չΪ�������������ҹ���ϸ����������ϸ�ּ�������״���䷢չ���г��ռ䡣
2���ҹ��ǽ������﹤ҵ��״�����Ʊ�����
Ŀǰ�й��ķǽ������﹤ҵ�Ѿ����൱���Ĺ�ģ�������ͳ������������������ơ��������IJ�Ʒ�����͵��β��ߣ����������ִ��ĸ��¼������²��ϲ�ҵ��չ��Ҫ���������ǽ����������ӹ���Ʒ��Ҫ�������ڣ������ڸ��е�����ԭ�ϼ����Ӽ����ι�����ȫ�������ڡ�
�ǽ�����������ǰ�ɫ��������������ӹ���ҵ�ĵ�һ����Ҫ�������������ȣ����ξ��DZ���ʯī����Ƭ�ʹ�����ά�������Ŀ�����ά���˽����������ԺͶ������ӹ���Ҫ�������������Ϲ������̣��ﵽ���ܡ����������ף��ҵõ����õľ���Ʒλ�����õĻ����ʵ�Ŀ�ġ�
�Էǽ����������г�ϸ�ӹ���Ŀ����Ҫ�ǿ����ǽ��������ڳ���ϸ������״̬���������ܡ�
2.1 ���ַ�չС�����ĸ���ЧӦ7 7��չС�������ӵĸ���ЧӦ�������о���ϸ�����Ļ���Ŀ�ġ����ڳ���ϸ�����彫(diao)���������ӳߴ�ЧӦ��С�ߴ�ЧӦ������ЧӦ��������������Ч��Ӧ�����Կ����ǽ�����Ȼ���ײ��ϣ���ʯī����ʯ�����������������������ҵȣ��ͺϳɵķǽ����������ײ��ϣ���̼���ơ��Ѱۡ��������衢(qu)̿�ڵȣ�����;����ʮ����Ҫ�ġ�
2.2���иߴ��������г�ϸ��
�ߴ�����Ϊ��ֹ�������ʵĸ��ţ����������������ʱ��������ԡ�������Ʒû�иߴ�����û����������ֵ������w(SiO2)Ϊ99.99%�ij�ϸ��Ŀǰ�ҹ������������ҳɹ�����û�й�ҵ��ʵ���������ڵĸߵ���Ʒ�۸��ɴ�15��Ԫ���֣�w��ZrO2��Ϊ99. 999%�ij�ϸ�ۼ۸�Ϊ��ͨ�ͻ�������2r02�۵�300���
���˴��ȣ����п���̸��ϸ������������ϸ�ȵ��Ǵ��Ȳ���Ҫ�������������˷�������������������20����ǰ��ϸ�������о�����������3um���ϵķ��壬(ren)ʮ����ǰ��������1um���ϵIJ��ϣ������������ѽ�չ���о������ġ����ſ��������ı�С�����ϱ�������������Ҳ����������
2.3���ܻ��븴�ϻ��Ŀ���
���ܻ��븴�ϻ������ǶԲ����������Ľ�����Ҳ�Ǹ��¼�����չ�Բ��ϵ����������ǶԳ�ϸ������ijЩ�����Ķ��ع��ܽ����о����������ã�ͬʱ��Ϊ�ظ������¹��ܣ�ʹ�����õ�Ϊ���Ƿ�����
2.4��ϸ��������Ҫ���Ĺ�ϵ
�������ϵľ�ϸ���漰���������������ȷֲ���
������״���ȱ����������ݡ��������ࡢ�����ʡ���
�ԡ��������ʡ���ʵ�һϵ�е����ԡ���ͬ���Ե�
������Ӧ�÷������в�ͬ��Ч������������ͨ����
�õ����ڷ�װ���ϵ�Si02�ۣ�������״��ͬ������
�ۺ����ηۣ�����װ��������ȫ��������Ʒ���ȷ�
����ͬ��������Ҳ�������ࡣ
3���ҹ���ϸ�������볬ϸ�ּ������з�
�ҹ���1995��2005��10����ӵ�н�160����ϸ������ר�����ɴ˿��Կ������ҹ���ϸ����������ϸ�ּ����ķ�չ�ſ���
3.1��ϸ�������ۼ�ʵ��
3.1.1��ϸ���������о�
���������ǽ������Ϸ������������Ĺ�ϵ�����ۻ�����̽�����Ϸ���״̬����������֮����������ϵ����ָ�������������ڷ��顢(man)�����ܵķ����豸���Խ����ܺġ���Լ��Դ����Ҫ�������о���ֵ���ش�����ʵ���塣(zheng)
��19���ͣ�ѧ��P��R��Von Rittinger�������������۵��¸������������ϸ�����80�����Ӱ������ӽṹ��ѧ�ĽǶ��о��˷����ܺ����⡣�������۾���100�����ķ�չ�����ƣ��ڷ�������������Ҫ��ָ�����á�����Щ���۶���һ���̶��ϴ��ڲ��㼰�������ԣ���ʵ��ʹ�ó����������������۶��и��Ե����÷�Χ������һ����Ƭ���ԡ����ſ�ѧ�����ķ�չ�����е�����������ʵ������ͳ�������۵�ȱ���벻������ͻ���������������Ѳ�������ָ�����á�Ϊ�ˣ�Ѱ������������ȷ�����ܷ�ӳʵ�ʷ���״̬����������������ü�ޡ�
ĸ������Ϊ���ϱ��Ρ���������ʮ�ָ��ӡ�������һ������ϵͳ������һ�������������ʺ����������Ŀ���ϵͳ��Ҳ��һ������̬һ����һͻ��������ʽ�ݱ����̣�ͬʱ���������ȵ������ĺ�ɢ��Ҫ��������ϵͳ���������Ϸ��鸚(ying)�ķ��̣���Ҫ��ѧ�Ƶ��������������ڶ�ѧ�ƽ����ںϵ�ǰ���£����������ķ��̲ſ��ܸ����ƺ�ȫ�棬(quan)���ܽ�ʾ���Ϸ�����һ����ϵͳ�������ݱ�������
��������������������ĥ�����������о��˷���ǻ�ڵĹ���ѹǿ������������SiC������ò��Ӱ�졣���߷���ǻ�ڵĹ���ѹǿ�����ӷ���ǿ�ȣ�����ǻ�ڲ����������������ӿ�������ײ���Ļ������Ʊ�Ƭ״SiC�۵���Ч����������������ʽ����ĥ�Ӷ༶���ַּ����ķ���ϵͳ�������Ʊ���Ʒ�����ϺõĶ༶����ϸSiCƬ���ۡ�
����������ά����������������NUMECA������������������ǻ�����˶�����ά������������ֵģ�⣬�õ�������ǻ�ڲ�������ѹ���ֲ����ٶȷֲ���ֱ�۵���ʾ������ǻ�ڲ�������������Ϊ�����ε����������춨�˻�����
�������ø�ѹ��ĥ������ĥ���ɵĸ��Ϸ���ϵͳ������ʪ����ϸ��ĥ̼�������ϵ����飬����������������ϵͳ����Ч����������ϸ�Ȳ������ܺģ��������������ڸ�ѹ��ĥ��ѹ��������϶�йأ���ѹ��ĥԤĥ�������Ե�Ӱ������ĥ�����ղ�Ʒ���Ⱥͽ���Ч������ģ�����ֲ�������״�����ƻ���Ϊ������������ѹʱ������϶�����������������Ժ�Ӧ���ֲ��йء����������о���������ϸ��������Ӧ�������е��������������в�ͬ�ı��ַ�ʽ������������ȷ���֣����д���������ʿ��ͬŬ��ȥ�о����ڴ����ճ���һ�������ı��﹫ʽ���������ѷ������Ŀ�����ע�⣺�ٿ�������ϸ�����豸��˼��������ͬ�ڷ����������ϵģ��ڳ�ϸ�������Ŀ���Ӧ���Ƕ������ġ�
3.1.2��ϸ������е
�ҹ���ϸ���鼼(yao)������������60�����������������������ա�����һϵ�������£���������80������ʼ������������������ָ״����������ʽĥ��������ĥ�ȣ���������90�������ڣ��ҹ��ѻ����γ��Լ��ij�ϸ���������������У������ڳ�ϸ�ּ���Ҫ����������ѧԭ���������Ѷȴ�һЩ�����������߽��١�
��ϸ����ĥʼ��1928�꣬1952�������Ű˾�Ƴ���ʽɰĥ����������80����Drais��˾�����ɹ�DCP��϶ʽ����ĥ��ʹ������ɢЧ�ʴ������ߡ����������¹����ձ������з����ס����׳�ϸ����ĥ����S�͡�C�ͺ�ZR120������ʽ��ϸ����ĥ��
��ɳ��ұ�о�Ժ���Ƶ�LXJM���ͳ�ϸ����ĥ������Ͳ�塢�������ʹ���װ�õȷ����Ż��˽���ĥ�����ƣ���Ӧ������ֽͿ������������̼���Ƶ�ʪ����ϸ�ӹ��У�����Ʒ������ֽ��ҵ��Ҫ����
�������Ƴ���һ��CGM60-B��ʽ����ĥ�����ص��ǣ�����ÿ��ѭ��������ע�����غ�ǿ�ȣ������ߵ�λ��������ע�������ܶȣ��ı�ĥ�����������й켣�������������������˶��������˶�������ά�ԣ�������ĥ���ڲ�����ת�����⡣
���ƿ�����һ�ָĽ��͵�����ʽ��ĥ�豸——DHM��ĥ�������ǵ�һ��ĥ�豸(zhi)�������ּ�������������ʹ�á��û��봫ͳ������ĥ������ĥ�����ȣ�ĥ��Ϊ���㣬������������תʵ������ĥ����������
�����е���Ϊ����������������ѹ������Ϊ�������ʣ�һ�����ܹ��ṩ�ϴ��ķ������������ڲ�Ʒ��ϸ������һ���棬(quan)�����ò�Ʒ���Ȼ�����ͬ��ǰ���£�ʹ����ѹ��������ʹ�ù���������Ϊ���á����ҽ����е�Ϊ��������һ�ּ������е���ѹ�������������������ơ��ݴ���������������ѹ�������빤�����ʵ�ǿ��������������Ӧ���ڳ�ϸ������ʵ�������У���ȡ�������õľ���Ч��������Ч�檔(dang)
�ν���[IO]���Թ衢(qu)�̡�����ͭΪ��Ҫ�Ͻ�Ԫ�أ��������������ѡ��𡢵���ϡ��Ԫ�ؽ����Ͻͱ��ʴ������ڿ������������£��������ۺ����������ı�������֯���õͺϽ����䱴�������������ռ�������Ԫ�ؼ������٣������ɱ������̸��൱���Ҹò��Ͼ���������ǿ���Ժ���ĥ�ԣ���Ӧ���ڳ�ϸ������е�У�����Ч��������ֵ���ƹ�Ӧ�á�
3.1.3��ϸ������еС��
��������������Ŀǰ���ڳ�ϸ�������Ļ����������£�
1�������������������͵Ļ��ֻ����ϴ���ͬһˮƽ�����������Ķ��Ͳ�Ʒ���ڶ���������
2��ijЩ���ֱȹ���Ƚ�������ʽ�Ľ�������ĥ�����¶������饗��ͷ����ͷ�ĸĽ���ACM�������Ͷ�����GYM�ڷ�ĥ���Լ��⼸���·�չ��һЩ���ص������鶨���»��֣�
3�������ϣ��ҹ��Գ�ϸ�����ļ����о����豸�������Ƚ����������࣬�������豸(zhi)����������Ҳ��������������ͣ��ټ���������ҵ�����������أ��豸(zhi)����������ˮƽ�������в��ࣻ
4�����������豸û�����ص�ͳһ����������ҵ�����ұ������������豸(zhi)���ơ��ͺŲ�ͳ
һ����ʹ���ߺ�ãȻ��
3.2��ϸ�ּ����ۼ�ʵ��
3. 2.1��ϸ�ּ�����
���ڳ�ϸ���ϵ�ʪʽ�ּ���ˮ����������Ӧ�����ƹ��ڹ������м�ʮ���ľ��飬(juan)������ʹ�þ���ʹ����������ҵ�Ȳ���չ����ʽ�ּ��Ƿǽ������ﳬϸ��������Ҫ�ּ���������Ҫ�ּ������ձ�������MS��MSS�͵¹���ArIP�ĵ��ֻ���������ʽ�ּ�������ʽ��ϸ�ּ�ʵ����Ŀǰ����������ƽ������0.5—1.0 ILm���ķ�����չ�����������ij����ѿ�ʼ̽�����û�е�������ߴ������۵��о�����Ҳ���ҹ���ϸ�����о��߷ܶ���Ŀ�ꡣ
�����յȸ��ݶ�����ʽ�����ּ����ּ��������������о����ҳ���Ӱ���ּ������ͷּ����ȵ���Ҫ���أ��ܽ���һ��ϸ�ۿ����ּ������Ʒ�������Ϊ����3����ҵ������5�״���ϸ�۷ּ�����װ�ã��ɹ��ؽ�����������С��20um��ϸ�ۺ���������1. 5%һ30%��ʹ�����ѻ�������Ʒ���ȷֲ��ﵽ�����г���Ҫ����
����������Ϊ�����������ڿ����о���ǿ�ҵ��ž�����������Ϊ������������ǿ�ҵ�������������ʪ��ʱ���������ž���Ҫ��Һ�������ɵģ����ڸ��������£����ɷ��»������𡣷ּ�����Ҫ�����Ƿ�ɢ������ʹ�䴦�ڵ���ɢ״̬�������������߷�������ɢ�ԣ�Ҳ����˵��ϸ�����ķּ��������ڿ�����ɢ��
��������n5 3ͨ�����۷�����ʽ�Ƶ��������˲�Ʒ�������ּ���ת�ӽṹ����֮���Ĺ�ϵʽ����Ϊ�ڷּ���ת�ٺ�ͨ����һ���������£�ת�ӽṹ����Ӱ����Ʒ�������ּ��������ǡ�ҶƬ����Ӱ���ּ�Ч�ʣ�ת��ҶƬ�������ಢ����ʹ�ٽ��ּ�������С��
��ʥ�յȶ����������ּ��������и����������о�����Ϊ�����������ּ����ּ���Ҫ�����ڻ�������ת���ּ����������Ǻ�����Ӱ���ּ����Ⱥ��и�������С����Ҫ����ͬ�Ķ����������Ƴ���ͬ���и��������㹫(yi)ʽ���ڶ����㹫(yi)ʽ������ͳһ��dso=Qe/8����ʾ�����и�����dsoȡ���ڷ���Q��ת��ת��n�IJ������ء�
�������ȶ�4�ֲ�ͬ�������������ڲ�ͬ�������µķּ�Ч�ʽ����������о��������������ε�Rosin-Rammler�����Բ������ݽ��������������������������ּ�Ч����˹�п�˹��Stk֮����ϵ��Rosin-Rammler������Ϊһ��ֱ�ߣ������������ɶ��۽��зּ����ָ������ɴ�1.3um
3.2.2��ϸ�ּ���е
�ּ����Ƿ����Ʊ�ϵͳ�зdz���Ҫ���豸֮һ�����ÿ�����Ϊ��ɢ���ʵĶ�̬�ּ��豸�ڷּ�������ռ����Ҫ��λ���䷢չ�Ⱥ�����������ʽ�����ּ���������ʽ�����ּ���������ʽ�����ּ�����Ŀǰ������ʽ�����ּ������乤���ȶ����ּ�Ч�ʺ;��ȸߡ��������������õ���Ѹ�͵ķ�չ��������ռ����������λ���������о��ڹ�����Ҳ�Ƚϻ�Ծ�������ֿ����ּ��������ձ��������۷�ʽ���ã��ܷⲻ�ɿ����������ܷ�Ҳ�����ã����⣬�������ַּ���ҶƬϸ�����ڸ�����תʱ�������������κ���Ӱ���ּ�Ч�����Դˣ�������[18]������VTC 90��ʽ���ֿ����ּ������û�������������������֧�е㡢(man)����ҶƬ���������ֽṹģʽ�ڹ������������ǰ�װά�������ķּ��豸��
����˹�п�˹����������ʽ�ó��Ŀ����и�������ϵʽ��Ϊ�˲����и�����С���ۣ�����Ҫ���ּ����е������ٶȵ͡��ּ��ֳߴ�С����Բ���ٶȸߡ����ˣ��������ȶ��IJ��������£��Խ�С�ķּ��ַ�������ϸ���ȵ��ۿ��������������о���ʽ�ּ���ʱ���Ը������տռ��еĸ��Կ�����Ϊ�о��������Ը�������ԭ���������ּ�Ҷ�����Ե�������ԭ����Ϊ�������ݣ�ҶƬ����Ϊ�ռ�����������ƽ�����ϵ���״���о�����Ϊ����ѹ����ʧֻ�г����ּ���60%���ּ����ﵽ0.8um�������ּ�������1.0um�����ڷּ������þ�������ҶƬ���ı��˳����ּ����������������ּ����ƶ�ʱ�Ļ����������ö��η�ɢ����ʹ��ϴ��������������ת���ﵽ��Ч��ϴ��Ŀ�ģ���ϴЧ�ʱȳ����ּ�������60%��Ŀǰ�����о���ȡ�ù�ҵ����ʵ���ɹ���
4���ҹ���ϸ���������г��ռ�
4.1�ҹ���ϸ������������ҵ���ڵ�����
1��������ҵ�����С�С����ҵ
�ĸ↑��20���������ҹ��С�С��ҵ��չ�Ͽ죬���й�������ҵ��ȫ�IJ���ȫͳ�ƣ������豸(zhi)����1 644�ң�����ר�ţ������ţ������������ij��ҽ�1/4��Ŀǰ��ҵ�������������С�
������Ϊ����������״��ԭ�����ڣ�������Ϊ���ٷ�����ҵ�漰(peng)��ҵ�ࡢ��Χ�㡢(man)�ֲ�������רҵ���࣬��չ�ٶȿ죻�ڷ����豸(zhi)���������պ�«��ư���������ɣ�Ͷ�ʻ����ڶ̣��������ÿ죬���豸Ԥ���ռ��ܴ�����û�б�Ҫ���г������ռ��ܴ�����Щ�����ķ��������ɷ����豸�ر��dz�ϸ���������ּ������г������������ĸ���ԭ���ǣ����豸(zhi)������ͼֽ�������д���������Ҳû�����Ϳ�ʼ���죻�ڶԷ����豸��ʶ���㣬���˽ⳬϸ�������ͳ�ϸ�ּ����ľ���Ҫ�������̶��豸(zhi)�IJ���ȱ����ʶ�������ɱ����������Ҳ��ã�����ҵ������ҵ�����������г����飬���г��˽ⲻ�㣻(yi)�ݲ����ù�ҵƷ���г�Ӫ�������뼼�ɣ����г����淶(lai)������˫������äĿ���߲���������ҵ�������粻(zhang)����͵ȡ���˵ļ���ȥ���ƣ����Ѵ��ű��˵���ҵ�����Ի���������ƭȡ�ͻ��ϵ����ֻ��ߴ��۸�ս�������ϸ���Ʒ�ͼ������ȡ�
2������WTO�����ҹ��г���Ӱ��
�ҹ�����WTO�����꣬��μ������ҵ�ѽ���������Ӧ���������嵱ǰ���¾��棬������Ϊ���������Ժ����г����������ˣ����������ˣ��������ֶ�ȴ�����裻(du)�ڲ�Ʒ���������ˣ���˰Ҳ�����ˣ����ǹ�˰���������ˣ�2006������ó������87����ҵ�����У������й��ľ���23��������Σ����Ҳ�����ˣ���������ʵ�й����������������ҹ�����ҵ�����г����������������ˣ������������������г����ĸ������룬�г��������Ƶ�ʵ�����Ƚ�һ���Ӵ��ˣ��г���������Դ�е����ý�һ����ǿ�����г�������Խ�������Dz������ѶȾ�Խ�ݲ�Ʒ���ۺ�����Ҫ����Դ�ɹ��������ɣ����Ƕ���ҵ��ѧ������Ҫ��Ҳ�����ϸ������µ������£����ڸ���ҵӦ��������֪ʶ��Ȩ���������ӹ淶(lai)��ҵ��Ӫ���������������г������Ż���һ����ת��
3��������ҵ��ԭ��
�����۷������й���Ӫ��ҵ��Ӫ�е��������⣬����52��С���⡣�����ܽ�������Ϊ��Ҫ����ҵ�߲����ߡ�Ӫ�����ԡ��ʱ���Ӫ����ҵ��Ӫ�ȼ������������⡣��Щ�������������ۣ����ҹ���ϸ�������豸(zhi)���������ǹ������⡣�������⼸�������Ż�����������С��ҵ�ò�����չ������չ��һ���̶�֮������ä���������������˹���һЩʧ�ܵĴ���ҵ������������֮���������ǵ�ԭ������Щ��ѵ��������ʮ����Ҫ�ġ�
�ҹ�������ҵ���Ǽ���ʽ������ʽ�ģ���Щ��ҵ��ȱ��ְҵ�����ˣ�һ�㶼��������Ҳ�������á�����Ӱ����Ʒ���۵������Ǹ��ָ����ģ������컯�������������ߵ���Ҫ���ء����ִ������У������㹺���������IJ�Ʒ����һ������������ȥ�IJ�Ʒ�������߿�ѡ���IJ�Ʒ̫���ˣ�ֻ�в������ƣ����������г��ռ䡣
�ۺ��ҹ���ϸ�����豸(zhi)����ҵ��չ�������������أ�������ҵ�ڲ�ԭ�����У�����ҵ����֯�ṹ�Ͳ�Ʒ�ṹ������������ҵ�������ʲ��ߣ�����������������Դ����ҵ�Ļ��ȷ��棻����ҵ�������������͡�������ҵ�ⲿԭ�����У���������֧�����߲�����ʵ��λ������ҵ���η��ֲ���ȷ������С��ҵ�ձ��е������ѣ������ʣ��ⷽ�滹(hu)���������������������ʽ���Ϊ�ܴ����⣻����ҵ�����ľ��ø���Խ��Խ�ء�
4.2������ҵ�ķ�չ�ռ�
����������Ҫ�����ҹ���ϸ�����豸(zhi)������ҵ��Ӧ���������¼��㣺
1����ҵҪ���ϴ��£���ǿ�����������ڲ���̽���г��ռ����������з��»��֣�ʵ���������г�������ʵ�ʲ�Ʒ���൱���ľ��룬�����������������ʽ���
2����ҵҪ���г��ռ䣬�ر������Լ���ҵ���г���λ����ƷҪ���Ӿ���ר���ص��ص㡣
3��������ҵ�������ʣ���������ҵ�쵼�˵����ʣ�Ҫ��ǿ��ҵԱ����ѵ��ʹ��ÿ���˶��ܳ�Ϊ����ҵ��רҵ��ר�ң�
4��ѧ�������������������еļ�����Դ��������Դ����ѧһ�㾭��ѧ����
5�����Ƽ���ʽ������ʽ�Ĺ�����ȷ���Լ�������������ʱ�����ҵ�ְҵ������Ϊ�ã�
6��ѧ���г��������г���λ����ǿ�г�Ӫ����ע������������Ա���������⣩�����úù������г��ռ䣬(zai)���������ľ���Ч��������Ч�檔
5��������
�й���ϸ���幤(bi)ҵ����20�������ż�ʮ��С����ҵ�������ⷢ���������ȣ����ǵij�ϸ���������ּ�����������������һ��Ҫ������������֮���Ľ��죬���ʾ�������������ǰ�����DZ�������ȥ����ҵҪ�������ϴ��¡����ϸϳ��Ĺ�������������ʣ�ȫ���˽��ҹ���ϸ���������г��������������е���Ч������Դ��ѧ���ʱ���Ӫ��Ϊ��ҵ�����Ĺ����������г���Ŭ����
���ط�������������Ʒ��
1���ոѷ�����
2�����Ϸ�����
3��ա�ݻ�