�ִ���ҵ�У�̼��������Ҫ�ķǽ�������Ʒ���㷺Ӧ���ڰ뵼�塢(wu)̫���ܡ���������е��ĥ�ߡ����ӡ�ұ�����մɡ��������ϵ���ҵ��̼������������ɰ����ѧʽSiC����ɫ���壬(ren)������ʱ������ɫ���ṹ������ʯ���ƣ�ÿ����ԭ�ӱ�4��̼ԭ�Ӱ�Χ��Ӳ�Ƚ����ڽ���ʯ���ܶ�Ϊ3217kg/m3���۵�ԼΪ2700�棨(qi)�ֽ�����������ĥ�����¡��ͻ�ѧ��ʴ���нϺõĵ��絼(zhen)���ԡ�
���У��辧Ƭ���и���̼���������ڸ߶˹���Ʒ���ڹ����г����ֳ����õ�����̬�ƣ��г�DZ���ܴ��������ҹ�̫���ܺ�lCоƬ�ȸ߿Ƽ���ҵͻ���ͽ��ķ�չ�������и�̼������������ԶԶ�����ҹ���������������������ʢ��������ͷ���辧(bian)Ƭ���и���̼����������̼ͨ�������ȣ������ȷֲ����г̶ȡ������ṹ���ѻ��ܶȡ�������ò����ѧ�ɷݡ��������ԣ������ȡ���ˮ�ԡ���ɢ�ԣ���һϵ��ָ���϶����ϸ��Ĺ漲(zhang)������������Ҫ�ߣ�Ŀǰֻ������������ҵ�����������켼�������ձ���FUJIMI��ʽ�����ȡ����Ŀǰ�辧Ƭ���и���̼�������г��۸�ԼΪ��̼ͨ�����۵�10������ԶԶ��������̼ͨ���衣(yi)

����ģС�������ͣ������������������֣����������������������ܺĴ�Ʒ����ֵƫ�ͣ��߶˲�Ʒ�IJ����������ͣ�������ҵؽ�����в�Ʒ�����߸���ֵ��Ʒ�Ŀ�����
�����������ۺ��Զ���ˮƽ�ͣ��˹������Ƚ��ձ飬���Ʋ��Լ�����Ч���ϲ�������������������ܺġ�ĥ�����豸�ȶ��ԡ��Ͷ���������Ⱦ�ȷ��������������н�
�����࣬���������������ڱ��У�ͬʱҲӦ�ÿ������������ߵ�����DZ���ܴ������ո���������Ч���൱���ԣ�
�����������豸(zhi)���Ľ��������գ���ǿ�������������緋����Ϣ���������������̵��Զ���ˮƽ��������Ч�Ŀ��Ʋ��ԣ����߲�Ʒ�����������������ܺĺͻ�еĥ������������Ч���������߸�������Ч�ֶΣ�
����������������ҵ�������й辧Ƭ���и���̼�����۵��з�������������Ʒ��6H���ຬ����������ò���������Եȹؼ�����ָ�귽�棬(quan)�Դﲻ�������Ƚ�ˮƽ����Ʒ�����������г����������Խ��й�ģ�����������ڹ辧Ƭ���и���̼�������������������ڡ�Ϊ�ˣ���ǰ���ٿ����������ϸ�У������չ����õ�أ������߲�Ʒ����ֵ��ģ������������
���Ƹ���ĥ����ұ���������ͼӹ�̼������רҵ����������̼�����ᾧ�顢����ɰ���۵ȹ�5���֣����۲�Ʒ������800Ŀ��15μm����1000Ŀ��13μm����1250Ŀ��lOμm����1500Ŀ��9μm��������1250Ŀ��1500ĿΪ�����ó������Ƽ����أ����и���̼���������Ƴɹ����������ղ��û�е���顢�����ּ���ˮ���ּ��ķ��������ξ������顢(man)ɸ�֡����Ρ���ϴ�����顢(man)�ּ��Ͷ��ηּ����Ʊ���������ָ��������̼�����ۡ�
���У�����ĥ����ϵͳ�������ߵĺ���֮һ�������ڷ����������Զ����̶ȵͣ������ܺĴ����ʸߡ��ּ�Ч�ʵͣ��۲����������ȶ��Բ���������ģ��������Ҫ����ĥ���������ͽ������ȵĸ��Ŷ�����Ӱ���ܴ�������ʱ�����ɶ������ջٵ�����ͬʱ�����г�ǰ�����ã����Ƹ���ĥ��������ģ�����������۲����������������ߡ���������ĥ����ϵͳ���Զ������������ڱ��С�
Ϊ�ˣ��ڽ���ʡ�Ƽ���֧���£����Ƹ���ĥ�������Ͼ���ҵ��ѧ�����ϴ�ѧ�걨2006���Ƚ���ʡ�Ƽ��ɹ�ת��ר���ʽ���Ŀ����Ŀ���ţ�BA2006049��——“�辧Ƭ���и���6H SiC�۲��ϵ��о�����ҵ��”�����ϴ�ѧ�����Զ��������Զ�����ϵͳ��������ʩ�����裬����ĥ��ϵͳ���Զ���������һ���ؼ����ڡ�ĥ��ϵͳ�����Զ�����������Ԥ�ڿ���������ĥ��������5%-20%�������ܺġ��������ģ����߷ּ����ȣ��Լ�Ϊ�������մ������û��������������뵽�����ۺ��Զ���ϵͳ�С�
1.2��������
1.2.1����ĥ�Ŀ���Ҫ�����Ƹ���ĥ������̼�����۵Ĺ���Ϊ��
��ȡ̼����ԭ�ϣ������������飬(juan)��ɸ����������5mm��̼�����������������λ���������������������2mm��̼������������������Բ�ο���ռ80%���ϣ��ٶ���������ϴ���ӣ����
����������������̼��������������ĥ�ۻ�������dso=9.5-11.5pm��̼�����ۣ�����ʱ��ĥ�ۻ����������趨Ϊ65-75A�����������趨Ϊ40_50rn3��min��������ת��Ϊ400-600ת���֣�
��Ȼ��������ʽ�����ּ�����̼�����۽��зּ����ּ�ʱ������ʽ�����ּ����ķ�������Ϊ25_43m3/min���ּ���ת��Ϊ2600-3300ת���֣��ӷּ��ڷֳ�����dSg4=6.5-5.5μrn�ij�ƷA�������ڷֳ�dSg4≤5.5μm�İ���Ʒ��
��������ʽ�����ּ��������ڷֳ��İ���Ʒ��Ҷ��ʽ�����ּ����ٽ��ж��ηּ����ּ�ʱ��Ҷ��ʽ�����ּ����ķ�������Ϊ25-lOrr13��rrrrri���ּ���ת��Ϊ1300-1700ת���֣��ӷּ��ڷֳ�����ΪdSg4=4.5-3.Oμm�ij�ƷB�����������ֳ�����Ʒ�����ݳ��������Ŀ���Ҫ�����������գ�ȷ��ĥ��ϵͳ�Ŀ���Ҫ��Ϊ��
��ĥ��ϵͳͨ������ʵ�ּ��п��ƣ�ʵʱ�����ֳ��豸���¶ȡ������Ȳ�������������ʵ��Զ�̿��ƺ��˻��Ի������ݷ�����ͨ���˻���������Զ��ʵ��������ͣ���ȿ�������˳�����ơ�
���������������Զ�����ι�ϣ����ȶ����������������������IJ���������Ч�����豸(zhi)����Ҫ����ι�Ͽ��������ṩ4-20mA�Զ����ӿڡ�
���������ķ�����Ƶ�ܽ��ܴӼ������˻�������������Ƶ��ֵ���Զ���������Ƶ���趨ֵ���У����ȶ���Ʒ�������ﵽ���ѵĹ���ָ�ꡣ��Ҫ��Ƶ�����ṩ4-20mA�Զ����ӿڡ�
��ÿ̨�������¶ȴ�����һ�ף�ʵʱ�����¶ȡ����¶Ȼ���������������ʱ�Զ�������ֱ�����߸���ʱ�Զ�ͣ�������������豸������ʱ����ͨ���˻��Ի�ѡ���Ƿ�����ͣ����
��ϵͳ�������ݿ�ܣ��ڼ������Ͽ���ʵʱ�鿴������������ʷ���ݷ����洢�Ը���ʱ���ģ�Ϊ���������ṩ�ο���
��ϵͳ�Ŀ����Ժ���ģ�黯(an)���ƣ��������õĹ�����չ�ԡ�
1.2.2����������������Ӧ�ü�ֵ
�����������й�ʹ�����㷺������ʽ����ĥ��������̼�����۵�ϵͳ���������Զ��������ķ����������ִ����ļ����Ϳ����ֶΣ����ú����Ŀ����㷨����Ӱ�����ضࡢ�仯���ӵ�ĥ�۹��̽����Զ������Ϳ��ƣ���ʵ���ȶ����������߲����Ͳ�Ʒ����ָ�꣬�����ܺģ�����ϵͳ�����ȶ��ԣ����߾���Ч�檔
��������PLCϵͳ������PID���ƺ�ģ������Ӧ�㷨�������������о������Ʒ�����SIMATIC S7-300 PLCΪ���Ŀ��������������߽ṹ��ʹ��STEP7��S7-300 PLC����ģ�黯��Ӳ����̬���������̣������ȵؽ��Ͳ��ϳɱ�����·�����ɱ���������ͨѶ��ʵʱ�ԺͿɿ��ԣ�ϵͳ�����������ݡ�����ƽ̨������̬����iFix��Windows2003 Server���ƣ��������ֳ���Զ�̼��ظ�Ϊ�������ڿ����㷨�ϣ�����ģ������ӦPID���ƶ�����ĥ���ϻ��ڽ��е��ڣ�����һ�����Ƚ��ԣ����ԽϺõؿ˷�ϵͳ�Ĵ��ͺ���ʱ�䣬��Ч�����˸��Ͼ��ȡ�
����ĥ�����Զ�����ϵͳ�����ƺ�Ͷ��ʹ�ã�ʵ���˶Ե������ϻ�ι���ٶȵ��Զ����ڡ��Է�����ת�ٺķ������ٵľ�ȷ���ƣ���֤����ĥ�������ѹ���״̬���������õ��ܴ����ߡ����ޱ������Զ�ͣ������ʹϵͳ�����ʴ�Ϊ���ͣ��������ֳ������豸�������˲������ġ�����ƽ̨ʵ����Զ�̿��ƣ��Բ�ͬ��Ʒ���������ĵ��ڸ��ӷ��㡢(man)��Ч�������Զ�����ϵͳ����������̼�����۵IJ����������������������ɱ���ʵ���������Ĺ�ģ������������ҵ���徭(yao)��Ч�棬(quan)����Ϊ��ҵ��������Ԥ���˽ӿں��ṩ��������ʵʩ������
�������ķ����ͳɹ�����������Ӧ������ĥ��ĥ��ϵͳ�������з�Ҳ����һ�����ƹ�Ӧ�ü�ֵ���ҹ����ڶ��ķǽ�������ҵ������ʹ������ĥ�����������������������������Զ��������ɴ������߾���Ч�棬��ǿ��ҵ��������������ʵ�ִ������ַ۵������߸���ֵ�۵��ʵķ�Ծ��
1.2.3�������ѵ����ؼ���
����������˵��ĥ�ۺͷּ��Ѷȱ���ͨ��������������������ĥ��������ʽ�豸(zhi)�����ۣ������쾭����ѭ�������ļ����ؼ������ڱ�֤�豸(zhi)��ƽ�����кͿɿ�������ͨѶ��ͨ��ʵʱ��������ĥ���������Լ����������ķ����Ĺ����������ɿ���ϵͳ�Ե������ϻ������������������ķ�����Ƶ�������Զ����ڣ���ȷ�����������̲������Ա�֤�豸(zhi)ʼ�չ���������״̬��
ѡ�����ʵ��㷨�ǿ������ѵ㣬���������㷨����ϵͳģ�͵ľ�ȷ�������ܸߵ�Ҫ��ϵͳ��ʱ�͡�ʱ�䡢�����Ժ�ǿ���������˸��Ͽ��Ƶ��Ѷȣ�����Ч������Ƿ�ѣ�һЩ�Ƚ������㷨�������㷨���ӻ�����ʵ�ֵ����⣬Ҫ�ﵽ����Ŀ���迼(jie)���Ƚ������㷨��
1.3���̿��Ƶ���Ҫ����
���̿��Ʋ��Ծ������귢չ�����������������Ʋ������ḻ���ڹ�ҵʵ����Ҳ�õ�Խ��Խ�������Ӻ����á����̿��Ƴ��õIJ����У�
1)���ڶ���ģ�͵���ģ����(internal mode control)���ڱ����ƹ���ģ��G(s)ȷ���������������£�ѡ�����ʵ�G+����ʵ�ֿ˷������Ŷ�������ģ���ƹ�������ϵͳģ�ͣ����������ڹ�ҵ�ϵ�Ӧ�á�
2)�Դ����ͺ�ϵͳ���Բ��ô��ͺ��������Ƶ�������������PID����Ϊ�����������ͺ������㷨���ɡ���������������һ��������������SmithԤ�������Լ����Ƶ�“����”�㷨�����о�����SmithԤ���ʹ����㷨�Լ���ģ������һ���̶����ǵȼ۵ġ�
3)ģ��Ԥ�����ƣ���ģ���㷨����(MAC)����̬��������(DMC)��DMC��Ԥ��ģ�����Զ����Ľ�Ծ��ӦΪ����������Ҫ��ģ�͵Ľṹ������֪ʶ�������˹��̽�ģ���⣬�㷨�������õ�³���ԡ�DMC�㷨����3�����֣�Ԥ��ģ�͡������Ż�������У����ģ��Ԥ���������������ڶ������������ͺ�ʱ�䳣(yuan)�����̡�
4)����Ӧ���ơ�ͨ���ο�ģ���Լ������Զ�У�����Ա��ض�����ģ�ͽ��б�ʶ�Լ��Ż����ơ�����Ӧ���ƶ�ʱ��ϵͳ����Ч�����ã���ȱ���Ǽ����������Ի�ȡģ�͡�������ϵͳ�����ṹϵͳ�ʹ�ʱ��ϵͳЧ�������롣
5)���ṹ���ơ��ŵ��ǿ����ٶȿ졢³���Ժá��Ա��ض����IJ����仯(chao)���������Ų����У����Ա��ض����Ĺ��Ժʹ��ͺ����У���������ʧ�ء����������л������DZ��ṹ���Ƶ��ѵ㡣������������״̬��ʶ��״̬Ԥ�����뵽���ṹ�������Կ˷�ϵͳ���ͺ��ʹ����ԡ�
6)H��³�����ơ����ڶ����о��dz���Ծ��������ȡ�ò��ٽ�չ����������ҵӦ�ã��ŵ�������Ч���Ƹ��źͶ���ģ�͵IJ�ȷ���ԣ������������̼�³�����������ܿ��������ϣ����γ�³������Ӧ���ơ���������������³�����Ƶȡ���³�����Ƽ����ĸ������譚�����ķ�չ��
7)����ר��֪ʶ�⡢ģ�����ơ��������硢�Ŵ��㷨���˹����ܿ��Ʋ��ԡ���ͳ�Ŀ�������������ȫ�������̶������������ԡ�ʱ�������⣬������֪ʶ��Ϊ�����������˹������Զ�Ѱ�ſ��Ʋ��������ƹ��̵��йز�����ʹ����Ŀ�깤���ڼ�ֵ��Χ���˹���������ͬģ�����ܿ��Ƽ�����Ч�Ľ��ϣ��������ӿ�ϵͳ����Ӧ�ٶȡ���õ��˹���������Ϊ����ǰ��BP�����;���������RBF���硢(yu)��������ʽ���硢(yu)�����������硣(xiao)
8)ģ�������ǽ�ʮ������Ѹ�ٷ�չ��һ�����������������ʵ�ã�Ŀǰ�ѳɹ�Ӧ���ڸ��ֿ���ϵͳ�С�ģ����������ģ�������ۡ�ģ�����Ա�����ģ��������Ϊ������һ�ּ�������ѧ���Ʒ��������ڷ����Կ��ơ�ģ�����ƽ�����ר�ҵľ����ǻۣ������������������ա�����ʵ�֣�������С��ʵʱ�Ժã���ģ��Ҫ�ߣ��Դ�ͳ�������Կ��Ƶ�ʱ��ϵͳ��ʱ��ϵͳ�����õĿ���Ч����
1.4�����½ڰ���
ȫ��Χ������ĥ�����Զ�����ϵͳ��������ʵ����һ����չ�����������¡�
��һ�����ۣ�����ѡ���ı��������壬�������ѵ����ؼ��㣬�������Ʋ��ԵĽ�չ����������Ҫ���Ĺ������½ڰ��ţ�
�ڶ�������ĥ�������̷�������������ĥĥ�۹��գ��������ع��̣���������ģ�ͣ�
�����¿���ϵͳ���巽�����ƣ�����ϵͳ���������Ʒ��������ó���PID���ơ��������Ƶȷ����������ƺ�Matlab���棻
����������ĥ�������̵�ģ��PID���ƣ����Գ���PID���ƵIJ��㣬(qi)����ģ��PID�����㷨�������з�����
�����¿���ϵͳ��ʵ�֣���������ĥ���Զ�����ϵͳ��ʵ�֣��ӹ��̿��Ƽ������̼��ؼ��������������������ζ�ϵͳ�������ܹ����в���������ϵͳӲ��ѡȡ����̬������ͨѶ������ʵʩ�����ݡ�
�������ܽ���չ�������ۿ��Ʒ�����ʵʩЧ��������������չ�ķ�����